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顧名思義,勻膠機(jī)是把膠均勻地涂在基片上的一種機(jī)器。方法很多，有滾涂，浸涂，噴涂，旋涂等，各有優(yōu)缺點。不同的應(yīng)用采取不同的涂膠方法。其中旋涂用得蕞多，那是因為它能取得蕞高的均勻性，是半導(dǎo)體微電子領(lǐng)域里光刻工藝的通用的方法。勻膠機(jī)主要關(guān)鍵元器件由美國進(jìn)口，整機(jī)裝配在國內(nèi)安裝調(diào)試完成。該機(jī)2002年已通過CE認(rèn)證，其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現(xiàn)為：當(dāng)該勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時，它不影響同處一室的其他設(shè)備，以保證其他設(shè)備的正常使用（如指針不漂移等受干擾后有影響的反應(yīng)...

勻膠機(jī)旋涂注意事項1.什么是勻膠機(jī)？用于旋涂的機(jī)器稱為勻膠機(jī)。有許多名稱：甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等，主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝，可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻...

勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。如何選購合適的勻膠機(jī)？1、勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。勻膠機(jī)如果...

EZ4-S參數(shù)1.轉(zhuǎn)速范圍：100-9999RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM2.大單步步長3000S，旋轉(zhuǎn)時間分辨率1S3.加速度可控范圍：100-9999RPM/S4.可處理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圓晶底物5.液晶文本顯示，可提供中英文操作界面，簡單易用6.快速運(yùn)行和程控運(yùn)行可選，多5組5步的程控操作模式7.100W直流無刷電機(jī)，寬電壓適用：AC100-230V輸入.標(biāo)配三種規(guī)格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）9.乳白色PP耐腐蝕外殼，耐腐蝕...